Cihaz  Bilgileri

Cihaz İsmi:

Taramalı Elektron Mikroskobu (SEM)

Markası:

TESCAN

Modeli:

MAIA3 XMU

Demirbaş Sicil No

253.3.6/14/31655

Sorumlusu:

Telefon:

E-Posta:

Cihazın Durumu:

Kullanımda

Cihaz  Genel Görünümü

Kapasite / Teknik Özellikleri :

Malzeme içerisindeki yapıların mikro ve nano mertebesinde görüntüleme analizi yapılabilmektedir. Ayrıca numune içerisinde nitel ve nicel elementel analiz yapılabilmekte olup haritalandırma tekniği ile elementlerin dağılımı izlenebilmekte ve EBSD tekniği kullanılarak faz analizi yapılabilmektedir.

ELEKTRON OPTİKLERİ

Elektron Tabancası:

Yüksek Parlaklıklı Schottky Emiter (FEG)

Çözünürlük:

Standart modda (In-Beam, SE): 15kV'da 1,0 nm; 1 kV'da 1,8 nm; 500 V'da 2.5 nm

Beam Deceleration modda: 1kV'da 1,4 nm; 200V'da 2,2 nm

STEM modunda: 30 kV'da 0,8 nm

In-Beam BSE modunda: 15 kV'da 2,0 nm

Düşük Vakum Modu: BSE: 30 kV da 2,0 nm

Yaklaştırma (30 kV da):

4x-1000000x

Maksimum görüş alanı:

4,3 mm (WDanalytical 5 mm iken)

7,7 mm (WD 30 mm iken)

Hızlandırma voltajı:

200 V-30 kV / BDT ile 50 V a kadar inilebilir

Prob akımı:

2 pA-200 nA

Elektron optikleri çalışma modları:

Resolution:Ultra yüksek çözünürlük modu

Depth:Odak derinliğini arttırmak için kolonu optimize eder.

Field:Bozulmamış büyük bir görüş alanı sağlar.

*Düşük vakum modunda yalnızca Resolution ve Depth modu kullanılır.

TARAMA ÖZELLİKLERİ

Tarama hızı:

Piksel başına 20ns-10ms aralıklarla ya da devamlı

Nokta, Hat taraması

Tarama özellikleri:

Tarama penceresi ile şekil, büyüklük ve pozisyon devamlı ayarlanabilir

Dinamik odaklanma

Görüntü döndürme, kaydırma, eğdirme telafisi

VAKUM SİSTEMİ

Çember Vakumu:

Yüksek vakum modunda <9x10-3 Pa

Düşük vakum modunda 7-500 Pa

Tabanca Vakumu:

<3x10-7 Pa

Numune değişiminden sonra vakuma alma süresi:

<3,5 dakika

ÇEMBER ÖZELLİKLERİ

Çember iç boyutu:

285mm (genişlik) x 340 mm (derinlik)

Kapak boyutu:

285mm (genişlik) x 320 mm (derinlik)

Numune kapasitesi:

7

NUMUNE TUTUCU ÖZELLİKLERİ

Tipi:

Bilgisayar kontrollü, tamamen motorize

Hareket Kabiliyeti:

X=130mm (-50mm den +80mm ye)

Y=130mm (-65mm den +65mm ye)

Z=90mm

Dönme:

360° devamlı

Eğme:

-30° dan +90° a kadar

Maksimum Numune Yüksekliği:

89,5 mm (BDT döner tutucu)

106 mm (Döner tutucu)

135 mm (Döner tutucu olmaksızın)

DEDEKTÖRLER

SE:

İkincil elektron dedektörü, Everhart-Thornley tipi (YAG kristal)

BSE:

Geri saçılma dedektörü, sintilatör tipi, (YAG kristal), yüksek hassasiyetli, atom numarası çözünürlüğü 0,1

In-Beam BSE Dedektörü:

Düşük çalışma mesafelerinde görüntü almak için kolon içerisine yerleştirilmiş sintilatör tabanlı geri saçılma dedektörü

In-Beam SE Detektörü:

Yüksek çözünürlük ve düşük çalışma mesafesi için kolon içine monte edilmiş ikincil elektron dedektörü

STEM Dedektörü:

Taramalı geçirim elektron mikroskop dedektörü, Bright Field ve Dark Field görüntüleme

EDS:

Oxford, Xmax 50

EBSD:

Oxford, Nordlys